موتور سیم‌پیچ صوتی خطی با دقت پاسخ بالا برای کنترل ریزحرکت نیمه‌رسانا

محل منبع چین، سوژو
نام تجاری SUPT MOTION
گواهی ISO9001,CE,3C
شماره مدل سری VCAB
مقدار حداقل تعداد سفارش 1 عدد
قیمت $110-$160
جزئیات بسته بندی بسته بندی سفارشی و غیره
زمان تحویل <i>1-5pcs ,5 days .</i> <b>1-5 عدد، 5 روز.</b> <i>&gt;20pcs ,To be negotiated</i> <b>&gt; 20 عدد، قا
شرایط پرداخت T/T
قابلیت ارائه مورد مذاکره قرار گیرد

برای نمونه و کوپن رایگان با من تماس بگیرید.

واتس اپ:0086 18588475571

ویچت: 0086 18588475571

اسکایپ: sales10@aixton.com

اگر نگرانی دارید، ما به صورت آنلاین 24 ساعته راهنمایی می کنیم.

x
جزئیات محصول
گارانتی 3 ماه - 1 سال مدل محصول VCAB0262-0112-00A
وزن (گرم) 285 نیروی اوج (N) 262
کل ضربه (میلی متر) 11.2 حداکثر ولتاژ (V) 35.1
برنامه محصول اتوماتیک دقت موقعیت یابی بالا
نوع محصول موتور سیم پیچ صدای خطی تخفیف قلم مو
نیروی پیوسته (N) 111N تایپ کنید جمع و جور
پیام بگذارید
توضیحات محصول

توضیحات محصول:

در فرآیندهای تولید نیمه‌هادی‌ها مانند پردازش ویفر، لیتوگرافی، بازرسی و بسته‌بندی، کنترل میکرو موقعیت‌یابی به دقت بسیار بالا، پاسخ سریع و پایداری بلندمدت نیاز دارد. موتورهای سیم‌پیچ صوتی خطی، با عملکرد درایو مستقیم و عملکرد دینامیکی عالی، به یک راه‌حل ایده‌آل برای فعال‌سازی کنترل جابجایی میکرو در تجهیزات نیمه‌هادی تبدیل شده‌اند.

موتورهای سیم‌پیچ صوتی خطی، نیرو را مستقیماً از طریق نیروی الکترومغناطیسی تولید می‌کنند و امکان حرکت خطی بدون اصطکاک و بدون لقی را با وضوح موقعیت‌یابی در سطح میکرومتر یا حتی نانومتر فراهم می‌کنند. در مقایسه با مکانیزم‌های سنتی پیچ سرب یا سروو درایو، موتورهای سیم‌پیچ صوتی خطی دقت و تکرارپذیری موقعیت‌یابی برتری را در محدوده‌های کورس کوتاه ارائه می‌دهند. آنها به ویژه برای تراز کردن ویفر، فوکوس نوری، کنترل تماس پروب و مراحل موقعیت‌یابی دقیق مناسب هستند.

در کاربردهای اسکن با سرعت بالا و جبران دینامیکی، موتورهای سیم‌پیچ صوتی خطی شتاب بالا و پاسخ فرکانس بالا را ارائه می‌دهند و امکان ردیابی دقیق دستورات کنترلی و جبران مؤثر خطاهای سیستم و اختلالات محیطی را فراهم می‌کنند. حرکت نرم و با لرزش کم آنها به حداقل رساندن اختلالات فرآیند در ساختار میکرو کمک می‌کند و عملکرد فرآیند پایدار را تضمین می‌کند.

ویژگی‌ها:

  • وضوح جابجایی زیر میکرون یا سطح نانومتر
  • پاسخ دینامیکی با سرعت بالا و پهنای باند بالا
  • تکرارپذیری استثنایی و پایداری بلندمدت
  • بدون لقی، لرزش کم و حرکت بدون ذره
  • سازگاری با محیط‌های اتاق تمیز ISO 4–5
  • بدون پیچ سرب، چرخ دنده یا لقی
  • بدون هیسترزیس در پاسخ جابجایی
  • پهنای باند کنترل بالا برای موقعیت حلقه بسته، کنترل سرعت و نیرو
  • لرزش و نویز صوتی بسیار کم

موتور سیم‌پیچ صوتی خطی با دقت پاسخ بالا برای کنترل ریزحرکت نیمه‌رسانا 0

پارامترهای محصول:

مدل محصول حداکثر نیرو
(N)
نیروی پیوسته
at 25℃(N)
کورس کل
(mm)
حداکثر ولتاژ
(V)
ثابت EMF معکوس
(V/m/s)
وزن سیم‌پیچ
(g)
قطر استاتور رزوه انتهای شفت
(mm)
VCAB0005-0039-00A 5 1.5 3 5.4 0.9 23 29.5 M2(بیرونی)
VCAB0005-0050-00A 5 2.2 3.9 14.5 3.1 27 31.5 M2.5(بیرونی)
VCAB0013-0072-00A 13 4.2 7.2 26.6 5.72 16.2 26.2 M3(بیرونی)
VCAB0015-0062-00A 15 6.5 6.2 26.2 9.75 14.8 33 M3(بیرونی)
VCAB0015-0127-00A 15 4.9 12.7 21.5 4.1 12.5 30.5 شفت ∮4.8
VCAB0022-0098-00A 22 6.6 9.8 24.7 5.8 20 34.1 M3(بیرونی)
VCAB0022-0448-00A 22 11.4 44.8 14.3 4 52 48 M3(داخلی)
VCAB0032-0050-00A 32 8.9 5 29.3 7.1 48 40 M3(داخلی)
VCAB0033-0099-00A 33 8 9.9 24.3 5.87 23.5 36 M3(بیرونی)
VCAB0033-0224-00A 33 13.5 22.4 26.7 6.8 69 58 M3(داخلی)
VCAB0035-0105-00A 35 15.6 10.5 11.9 5 91 50 M3(داخلی)
VCAB0044-0040-00A 44 16.3 4 18.3 8.9 46.5 53 M3(داخلی)
VCAB0044-0059-00A 44.1 17.7 5.9 14.3 8 43 46 M3(داخلی)
VCAB0044-0075-00A 44 13.7 7.5 16.8 7.6 38.6 31.1 M3(بیرونی)
VCAB0044-0249-00A 44 11.7 24.9 44.9 8.88 65.9 38.1 M3(داخلی)
VCAB0070-0149-00A 70 27.3 14.9 26.9 17.7 79 43 M3(داخلی)
VCAB0087-0062-00A 87 21.67 6.2 34.5 12.7 45.2 43.1 M3(داخلی)
VCAB0087-0563-00A 87 17.5 56.3 63.4 8.1 177 72 شفت ∮10
VCAB0088-0191-00A 88.5 23.2 19.1 29.9 8 162 50.8 M3(داخلی)
VCAB0105-0164-00A 105 35.4 16.1 20.1 11.5 150 60.4 M3(داخلی)
VCAB0113-0089-00A 113 35 8.9 31 17.5 125 73 شفت ∮8
VCAB0262-0112-00A 262 111 11.2 35.1 41 285 71 شفت ∮10
VCAB0262-0249-00A 262 112 24.9 28.2 26 785 66 شفت ∮8
VCAB0294-0498-00A 294 56.8 49.8 114 24.5 685 93 شفت ∮10
VCAB0436-0187-00A 436 147.6 18.7 40.7 40.7 648 80.4 شفت ∮10
VCAB0436-0250-00A 436 167 25 31.6 37.2 775 78.4 شفت ∮10
VCAB0445-0300-00A 445 185 30 33 35 920 76.2 شفت ∮10

 

کاربردها:

  1. مراحل تراز و موقعیت‌یابی ویفر
  2. جبران فوکوس و ارتفاع لیتوگرافی
  3. محور Z ایستگاه پروب و کنترل تماس
  4. عملگرهای اسکن با سرعت بالا AOI / AVI
  5. اتصال قالب و مونتاژ میکرو بسته‌بندی
  6. سیستم‌های توزیع دقیق و میکرو دوزینگ

موتور سیم‌پیچ صوتی خطی با دقت پاسخ بالا برای کنترل ریزحرکت نیمه‌رسانا 1