موتور سیمپیچ صوتی خطی با دقت پاسخ بالا برای کنترل ریزحرکت نیمهرسانا
| محل منبع | چین، سوژو |
|---|---|
| نام تجاری | SUPT MOTION |
| گواهی | ISO9001,CE,3C |
| شماره مدل | سری VCAB |
| مقدار حداقل تعداد سفارش | 1 عدد |
| قیمت | $110-$160 |
| جزئیات بسته بندی | بسته بندی سفارشی و غیره |
| زمان تحویل | <i>1-5pcs ,5 days .</i> <b>1-5 عدد، 5 روز.</b> <i>>20pcs ,To be negotiated</i> <b>> 20 عدد، قا |
| شرایط پرداخت | T/T |
| قابلیت ارائه | مورد مذاکره قرار گیرد |
برای نمونه و کوپن رایگان با من تماس بگیرید.
واتس اپ:0086 18588475571
ویچت: 0086 18588475571
اسکایپ: sales10@aixton.com
اگر نگرانی دارید، ما به صورت آنلاین 24 ساعته راهنمایی می کنیم.
x| گارانتی | 3 ماه - 1 سال | مدل محصول | VCAB0262-0112-00A |
|---|---|---|---|
| وزن (گرم) | 285 | نیروی اوج (N) | 262 |
| کل ضربه (میلی متر) | 11.2 | حداکثر ولتاژ (V) | 35.1 |
| برنامه | محصول اتوماتیک | دقت موقعیت یابی | بالا |
| نوع محصول | موتور سیم پیچ صدای خطی | تخفیف | قلم مو |
| نیروی پیوسته (N) | 111N | تایپ کنید | جمع و جور |
توضیحات محصول:
در فرآیندهای تولید نیمههادیها مانند پردازش ویفر، لیتوگرافی، بازرسی و بستهبندی، کنترل میکرو موقعیتیابی به دقت بسیار بالا، پاسخ سریع و پایداری بلندمدت نیاز دارد. موتورهای سیمپیچ صوتی خطی، با عملکرد درایو مستقیم و عملکرد دینامیکی عالی، به یک راهحل ایدهآل برای فعالسازی کنترل جابجایی میکرو در تجهیزات نیمههادی تبدیل شدهاند.
موتورهای سیمپیچ صوتی خطی، نیرو را مستقیماً از طریق نیروی الکترومغناطیسی تولید میکنند و امکان حرکت خطی بدون اصطکاک و بدون لقی را با وضوح موقعیتیابی در سطح میکرومتر یا حتی نانومتر فراهم میکنند. در مقایسه با مکانیزمهای سنتی پیچ سرب یا سروو درایو، موتورهای سیمپیچ صوتی خطی دقت و تکرارپذیری موقعیتیابی برتری را در محدودههای کورس کوتاه ارائه میدهند. آنها به ویژه برای تراز کردن ویفر، فوکوس نوری، کنترل تماس پروب و مراحل موقعیتیابی دقیق مناسب هستند.
در کاربردهای اسکن با سرعت بالا و جبران دینامیکی، موتورهای سیمپیچ صوتی خطی شتاب بالا و پاسخ فرکانس بالا را ارائه میدهند و امکان ردیابی دقیق دستورات کنترلی و جبران مؤثر خطاهای سیستم و اختلالات محیطی را فراهم میکنند. حرکت نرم و با لرزش کم آنها به حداقل رساندن اختلالات فرآیند در ساختار میکرو کمک میکند و عملکرد فرآیند پایدار را تضمین میکند.
ویژگیها:
- وضوح جابجایی زیر میکرون یا سطح نانومتر
- پاسخ دینامیکی با سرعت بالا و پهنای باند بالا
- تکرارپذیری استثنایی و پایداری بلندمدت
- بدون لقی، لرزش کم و حرکت بدون ذره
- سازگاری با محیطهای اتاق تمیز ISO 4–5
- بدون پیچ سرب، چرخ دنده یا لقی
- بدون هیسترزیس در پاسخ جابجایی
- پهنای باند کنترل بالا برای موقعیت حلقه بسته، کنترل سرعت و نیرو
- لرزش و نویز صوتی بسیار کم
پارامترهای محصول:
| مدل محصول | حداکثر نیرو (N) |
نیروی پیوسته at 25℃(N) |
کورس کل (mm) |
حداکثر ولتاژ (V) |
ثابت EMF معکوس (V/m/s) |
وزن سیمپیچ (g) |
قطر استاتور | رزوه انتهای شفت (mm) |
| VCAB0005-0039-00A | 5 | 1.5 | 3 | 5.4 | 0.9 | 23 | 29.5 | M2(بیرونی) |
| VCAB0005-0050-00A | 5 | 2.2 | 3.9 | 14.5 | 3.1 | 27 | 31.5 | M2.5(بیرونی) |
| VCAB0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | M3(بیرونی) |
| VCAB0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | M3(بیرونی) |
| VCAB0015-0127-00A | 15 | 4.9 | 12.7 | 21.5 | 4.1 | 12.5 | 30.5 | شفت ∮4.8 |
| VCAB0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | M3(بیرونی) |
| VCAB0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | M3(داخلی) |
| VCAB0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | M3(داخلی) |
| VCAB0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | M3(بیرونی) |
| VCAB0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | M3(داخلی) |
| VCAB0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | M3(داخلی) |
| VCAB0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | M3(داخلی) |
| VCAB0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | M3(داخلی) |
| VCAB0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | M3(بیرونی) |
| VCAB0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | M3(داخلی) |
| VCAB0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | M3(داخلی) |
| VCAB0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | M3(داخلی) |
| VCAB0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | شفت ∮10 |
| VCAB0088-0191-00A | 88.5 | 23.2 | 19.1 | 29.9 | 8 | 162 | 50.8 | M3(داخلی) |
| VCAB0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | M3(داخلی) |
| VCAB0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | شفت ∮8 |
| VCAB0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | شفت ∮10 |
| VCAB0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | شفت ∮8 |
| VCAB0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | شفت ∮10 |
| VCAB0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | شفت ∮10 |
| VCAB0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | شفت ∮10 |
| VCAB0445-0300-00A | 445 | 185 | 30 | 33 | 35 | 920 | 76.2 | شفت ∮10 |
کاربردها:
- مراحل تراز و موقعیتیابی ویفر
- جبران فوکوس و ارتفاع لیتوگرافی
- محور Z ایستگاه پروب و کنترل تماس
- عملگرهای اسکن با سرعت بالا AOI / AVI
- اتصال قالب و مونتاژ میکرو بستهبندی
- سیستمهای توزیع دقیق و میکرو دوزینگ
![]()

